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UV-LED照射装置(uv led) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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UV-LED照射器【水銀不使用。高出力UVLED】

高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大30W、水銀不使用、内蔵するLEDを選択可能!

従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、露光時間を 10msec まで短縮できます。 水銀不使用!従来のランプからの置換えをご検討の方は、お問い合わせください。 ■使用用途 ・半導体フォトリソグラフィー ・3Dプリンティング ・UV硬化

  • ステッパー
  • その他半導体製造装置

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超高出力 UV-LED照射器 ALE/1C

最大50W 超高出力。水銀ランプに代わるLED照射器。UV硬化、半導体検査装置などに使用可能

従来の放電ランプ(水銀ランプ)に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム(CSS)と露光システム(ESS)の2 つを接続して使用します。 システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。 また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。 水銀ランプ1000W 500Wと、ALE/1Ctとの出力比較は カタログをご覧ください。

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